磁控溅射机器价格_磁控溅射机器工作途中关闭冷却水会怎么样

范文仓信息网~

磁控溅射机器选购指南与使用注意事项

磁控溅射机器价格解析

1、磁控溅射机器价格差异大，国产设备10-50万，进口设备50-300万不等。关键看配置和用途，实验室级便宜，工业量产级贵。

2、影响磁控溅射机器价格的三大因素：靶材数量（单靶/多靶）、真空腔体尺寸、控制系统精度。多靶磁控溅射机器比单靶贵30%以上。

3、二手磁控溅射机器价格能砍半，但注意检查：真空泵寿命、磁控靶损耗度、电路板腐蚀情况。磁控溅射机器核心部件维修成本高。

磁控溅射机器冷却水系统警告

4、磁控溅射机器工作途中关闭冷却水=自杀式操作！立即会触发高温报警，继续运行将导致：

5、靶材永久损坏。磁控溅射机器靶材温度瞬间超200℃，镀膜层直接烧毁，换靶成本上万。

6、真空密封圈熔化。磁控溅射机器的橡胶密封件遇高温变形，漏气后整机报废。

7、必须装双重保护：水流传感器+温度联动断电。好的磁控溅射机器都有这功能。

磁控溅射机器日常维护要点

8、每周检查磁控溅射机器冷却水pH值，保持6.5-7.5。酸性水腐蚀管道，碱性水结垢堵塞。

9、磁控溅射机器停机超过48小时，必须排空冷却水。防止微生物滋生污染系统。

10、每月用超声波清洗磁控溅射机器的靶座。氧化物堆积会影响镀膜均匀性。

磁控溅射机器选购避坑建议

11、别被低价磁控溅射机器忽悠！确认是否含：分子泵、质谱仪、自动挡板阀。这些往往要另购。

12、磁控溅射机器电源要选脉冲式，比直流电源贵但镀膜质量好3倍。长期看更划算。

13、要求厂商演示：同等参数下磁控溅射机器镀膜速率。实测＜宣传值80%的直接pass。

14、签合同时注明磁控溅射机器真空度达标值。普通应用需5×10⁻⁴Pa以上，高端要10⁻⁵Pa。

磁控溅射机器突发故障应急

15、磁控溅射机器突然断电怎么办？立即手动关闭气阀，防止空气倒灌污染腔体。

16、磁控溅射机器报警显示"电弧过多"？停用检查：靶面是否氧化、气体是否不纯、磁场是否偏移。

17、磁控溅射机器镀膜出现条纹？80%概率是基片未清洁或传动速度不均导致。

18、记住：磁控溅射机器不是普通设备，任何异常先停机再排查。强行运转损失更大。